W型サイレントチェッキ(急閉リフト式, FC/CAC406.NBR)
Fig.40

ウエハー(10Kフランジ適用)
| 本体材質 | FC200 | 
| 要部材質 | CAC406 ゴム(NBR) | 
| 使用圧 | 1.37MPa(-10〜80℃) | 
| 寸法(インチ) | 寸法(ミリ) | L | 備考 | 
| 1 1/2インチ | 40mm | 90 | |
| 2インチ | 50mm | 90 | |
| 2 1/2インチ | 65mm | 100 | |
| 3インチ | 80mm | 115 | |
| 4インチ | 100mm | 135 | |
| 5インチ | 125mm | 150 | |
| 6インチ | 150mm | 175 | |
| 8インチ | 200mm | 220 | |
| 10インチ | 250mm | 280 | 
 
 
		
		
	 
 
		
		
	 
 
		
		
	